| 藩主 | 官位・通称 | 出自 |
| 初代 | 成瀬正成 Masanari | 従五位下 隼人正 | 成瀬正一の長男。母は熊谷直連の妹。尾張藩付家老。
尾張藩附家老平岩家が無嗣断絶したため徳川家康の命で付家老となる。 |
| 2代 | 成瀬正虎 Masatora | 従五位下 隼人正 | 成瀬正成の長男。母は森川氏俊の娘。正室は徳川義直の生母相応院の養女。 |
| 3代 | 成瀬正親 Masachika | 従五位下 隼人正 | 成瀬正虎の長男。正室は小出吉重の娘。
尾張藩より加増を受け３万５千石を領する。 |
| 4代 | 成瀬正幸 Masayuki | 従五位下 隼人正 | 成瀬正親の長男。正室は堀直利の娘。 |
| 5代 | 成瀬正泰 Masamoto | 従五位下 隼人正 | 成瀬正幸の長男 |
| 6代 | 成瀬正典 Masanori | 従五位下 隼人正 | 成瀬正泰の次男。正室は戸田光雄の娘。 |
| 7代 | 成瀬正壽 Masanaga | 従五位下 隼人正 | 成瀬正典の四男。正室は大久保忠喜の娘。
尾張藩からの独立を企てるも失敗。 |
| 8代 | 成瀬正住 Masazumi | 従五位下 隼人正 | 成瀬正壽の長男 |
| 9代 | 成瀬正肥 Masamitsu | 従五位下 隼人正 | 丹波国篠山藩主・青山忠良の三男。正室は成瀬正住の娘。
王政復古後、朝廷から藩主として認められる。 |
